Brand / ยี่ห้อ : Seiko Instruments

Model / รุ่น : SPI3800N / SPA400

ที่ตั้งเครื่อง : ห้อง Cleanroom อาคารวิจัยนาโนเทคโนโลยีสิริธร

หลักการทำงาน : AFM ทำงานโดยการใช้หัวอ่านซึ่งเป็นเข็มขนาดเล็กประมาณ 10 nm เป็นตัววัดแรงดึงดูดหรือแรงผลักที่เกิดขึ้นระหว่างหัวเข็มกับพื้นผิวที่ต้องการวิเคราะห์เพื่อสร้างเป็นภาพ โดยเมื่อกดหัวอ่านลงบนผื้นผิวที่จะตรวจวัด จะเกิดแรงที่กระทำต่อก้าน (Cantilever) ของหัวอ่าน จะทำให้หัวอ่านเอียงด้วยมุมต่าง ๆ กันตามสภาพความสูงต่ำของพื้นผิวซึ่งจะสามารถตรวจวัดได้จากมุมสะท้อนของลำแสงเลเซอร์ที่ยิงลงไปยังก้านของหัวอ่าน จากนั้นคอมพิวเตอร์ก็จะแปลงสัญญาณออกมาเป็นภาพของพื้นผิวที่ต้องการตรวจสอบได้

พื้นที่มากที่สุดที่สแกนได้ : 15 μm x 15 μm

ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง เช่น ฟิล์ม พอลิเมอร์ (ฐานรองรับตัวอย่างมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางประมาณ 2.54 cm)